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Author
Hermann Schenk
Institute: Bosch Sensortec
Article
Vortrag entfällt: Analytische Modellierung der durch die Quetschfilmdämpfung verursachten harmonischen Verzerrungen in MEMS-basierten akustischen Wandlern (de)
Tuning Squeeze-film Damping in an Air-coupled Electrostatic Ultrasonic Transducer by a Structured Cavity (en)